檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "自動化及控制研究所".dept (精準) and ckeyword.raw="解析度"
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本系統主要在光譜儀分析模擬，利用TracePro7軟體光跡模擬羅倫圓光柵分光特性。利用光柵反射出光線，於各波長主中軸上設置了一系列偵測面，藉由偵測面的輻照圖(斑點圖)，搭配Matlab軟體分析得到各…
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微影製程有兩項重要指標，一能將光罩圖案潛像(Aerial Image)正確的轉移至光阻基材上，二提供足夠製程視窗(Process Window)以供應穩定的製程良率。本研究目的在針對投影式微影系統開…
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以往的凹面光柵系統只能開小角度入射至光柵表面，如果將角度變大，會有許多能量沒有覆蓋到光柵上，為了將這些能量收集起來，設計了一凹面鏡，將入射之大角度光源，經由此面鏡，匯聚起來，反射成一平行光入射至光柵…